作為激光設備在金屬材料的加工，鋁鏡也有缺點就是它非常軟，并且容易在經過一段時間后形成氧化鋁層，又再一次吸收紫外光。如果鋁鏡和MgF2層一起鍍膜，則可以獲得在紫外區的高反射率，提高激光雕刻切割機中的高效，并且耐用性也得以提高。在193nm，反射率約80%.高質量的反射鏡可以用介質鏡獲得。給出了高反射率介質反射鏡的透過率曲線.