除了可以兼容平面光刻法中已有的大面積掩模曝光掩模加工技術外，還可以采用聚焦光束直接寫入加工方式。這種激光打標機的加工方式摒棄了常規工藝中的掩模，將高度聚焦的激光束按加工軌跡和結構要求在基片上進行動態移動刻蝕操作，屬于點加工方式。其動態移動范圍在全三維空間進行，移動柔性表現為四個自由度以上