羅茨真空泵是一種容積式真空泵，又稱機械增壓泵，其優點是在較低的入口壓力時具有較高的抽氣速率，是目前獲得中高真空泵的主要真空泵之一。羅茨真空泵不允許高壓差工作，否則將會過載或過熱而損壞，因此使用羅茨真空泵必須合理地選用前級真空泵，安裝必要的保護設備。