超聲波拋光的原理是：換能器將輸入的超音頻電信號轉換成機械振動，經變幅桿放大后，傳輸至裝在變幅桿上的工具頭，帶動附著在工具頭上的金剛石等磨料高速磨擦工件，致使工件表面粗糙度迅速降低，從而實現(xiàn)拋光的功能。振動的工具頭還可以帶動磨料懸浮液，高速研磨工件表面，使其迅速達到鏡面，從而解決了用銅質、竹質和木質工具頭高速研磨的問題。