真空式等離子處理系統CRF-VPO-8L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統

型號（Model）

CRF-VPO-8L-S

控制系統（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,3kw

中頻電源功率（MF Power）

600W/13.56MHz

容量（Volume）

80L（Option）

層數（Electrode of plies）

8（Option）

有效處理面積（Area）

400（L）*300（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2

產品特點：超大處理空間，提升處理產能，采用PLC+觸摸屏控制系統，有效控制設備運行。

可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數，滿足客戶的需求。

保養維修成本低，便于客戶成本控制。

高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。

應用范圍：主要適用于生物醫療行業，印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。

 等離子清洗機在電子工業的使用情況如何呢?
等離子清洗機，也叫做等離子表面處理儀，是全新的高科技儀器，它利用活性組分的性質對樣品表面進行處理處理，達到清潔的目的，除了具有清潔的作用外，還能夠進行活化和刻蝕等，廣泛應用于各個領域，下面給大家舉個例子：在電子工業清洗中的干法清洗,過程中需要真空泵制造一定的真空條件滿足清洗所需。下面來看看等離子清洗機的作業流程及注意事項。
等離子清洗所需要的等離子體主要通過特定的氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生,像低壓氣體輝光等離子體。簡單地說,等離子清洗需要在真空狀態下進行(一般需保持在100Pa左右),所以需要真空泵進行抽真空作業。
其主要過程包括:先將需要清洗的工件送入真空室固定,啟動真空泵等裝置開始抽真空排氣到10Pa左右的真空度;接著向真空室引入等離子清洗用的氣體(根據清洗材質的不同,選用的氣體也不同,如氧氣、氫氣、氬氣、氮氣等),并將壓力保持在100Pa左右;在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電使其發生離子化,產生等離子體;在真空室內產生的等離子體*覆蓋被清洗工件后,開始清洗作業,清洗過程會持續幾十秒到幾分鐘。
下面具體介紹下使用等離子清洗機要注意什么。 
1、在開啟等離子清洗機之前，要做好各種準備工作，首先要對操作的工作人員進行技術方面的培訓，讓他們能夠熟練掌握操作的程序，嚴格按照操作要求進行使用。 
2、在正式使用等離子清洗機之前，要對它運行時的參數進行正確的設置，并且要按照儀器的使用說明書去認真的執行操作，不能隨意地使用。 
3、要保護好等離子體的點火裝置，這樣才能保證等離子清洗機正常的開啟，要不然會導致開啟困難或者是開啟異常等。 
4、如果對一次風管沒有通風的情況下，要保證等離子體的發生器的運行時間在規定的時間內，不能大于設備說明書上要求的時間，要不然會把燃燒器破壞掉，從而造成很多不必要的損失。
5、要定期進行維護和保養。在對等離子清洗機進行維護和保養
的時候，要先把設備的電源關閉，待斷電后才能進行相應的操作，一定不能帶電操作，以防發生意外。