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雙頻激光干涉儀

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雙頻激光干涉儀

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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司——主要從事各種進(jìn)口儀器儀表、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 為美國(guó)Hamar Laser Instruments Inc公司中國(guó)總代理,德國(guó)JENAer公司中國(guó)總代理和匈牙利CE Optics中國(guó)總代理。經(jīng)營(yíng)的主要產(chǎn)品包括激光直線度測(cè)量?jī)x、激光平面度測(cè)量?jī)x、激光平行度測(cè)量?jī)x、激光垂直度測(cè)量?jī)x、孔同軸度檢測(cè)儀、主軸對(duì)中儀、孔對(duì)心軸對(duì)中檢測(cè)儀、激光幾何測(cè)量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點(diǎn)溫度測(cè)量?jī)x、相位波前角色散測(cè)量?jī)x、材料色散測(cè)量?jī)x、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀,及瑞士Soclair Electronic公司PT-100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、高精度電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換器、高精度電流信號(hào)轉(zhuǎn)換器、橋路信號(hào)轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號(hào)轉(zhuǎn)頻率模塊等。



    本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直、對(duì)中、校正和系統(tǒng)檢測(cè)。功能包括各種機(jī)械設(shè)備和部件的平面度檢測(cè)、直線度檢測(cè)、平行度檢測(cè)、垂直度檢測(cè)、孔的同軸度檢測(cè)、車床和車削中心的主軸對(duì)中檢測(cè)、聯(lián)軸器和電機(jī)軸的對(duì)中校正檢測(cè)等。廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工中心幾何量檢測(cè)、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測(cè)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)同軸度、電廠汽輪機(jī)隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測(cè),及機(jī)床的定位、補(bǔ)償和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的微位移檢測(cè)等。



    信號(hào)轉(zhuǎn)換器類儀表用于將各種重量、溫度、壓力、電壓、電流和頻率等信號(hào)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)控制信號(hào),用于系統(tǒng)的集成和控制。廣泛應(yīng)用于機(jī)械和設(shè)備工程、汽車、倉(cāng)儲(chǔ)、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購(gòu)我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品,我們將以飽滿的熱情,周到的服務(wù),客戶*的原則,為您提供滿意的產(chǎn)品和服務(wù)。


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定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量等,通過配合使用球桿儀,還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量,從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。
雙頻激光干涉儀 產(chǎn)品信息

   
產(chǎn)品名稱:雙頻激光干涉儀
產(chǎn)品型號(hào):ZLM700
產(chǎn)品產(chǎn)地:德國(guó)
制 造 商:德國(guó)耶拿爾JENAer公司
 
詳細(xì)介紹:
在德國(guó),耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾(JENAer)公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中,由于具有*的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理,德國(guó)耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的是真正意義上的雙頻干涉儀,并非單頻。

     其主要功能包括:定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量等,通過配合使用球桿儀,還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量,從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。

ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量,廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。德國(guó)耶拿爾具有以下性能優(yōu)勢(shì)

l          真正意義上的,兩個(gè)光束的頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“”的區(qū)別。*精度更好、性能更穩(wěn)定。
l          全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測(cè)量直線度),則僅采購(gòu)所需功能部分的光學(xué)部件(直線度光學(xué)鏡),其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購(gòu);若后期有其他功能的需求,補(bǔ)充采購(gòu)功能對(duì)應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長(zhǎng),可達(dá)20000小時(shí),激光穩(wěn)頻精度高,一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快,zui高達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測(cè)物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達(dá)0.6nm(當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí),線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm)。
l          無加速度限制;當(dāng)光線微弱時(shí),性能也十分穩(wěn)定。
l          信號(hào)延時(shí)<200ns;對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量,請(qǐng)選用ZLM800型,zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)

工作原理
ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量,不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差,信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上,避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此,ZLM700特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào):ZLM700
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng):
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時(shí)2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時(shí)):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發(fā)zui大輸出功率:
1mW (激光等級(jí)2)
每束光可測(cè)量的軸數(shù):
1
線性測(cè)量距離:
40m,可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍:
± 15°20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍:
20m行程
直線度測(cè)量范圍:
± 5mm2m10m行程,
選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍:
± 5mm2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度:
4m/s可選16m/s
80rad/s,角速度
zui大加速:
無限制
zui高采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡
±0.1nm (平面反射鏡
距離測(cè)量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
距離測(cè)量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測(cè)量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測(cè)量精度:
±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度測(cè)量精度:
±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度測(cè)量精度:
±0.2%實(shí)測(cè)值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
直線度測(cè)量精度:
±0.5%實(shí)測(cè)值,2m行程
± 2.5%實(shí)測(cè)值,10m行程
垂直度測(cè)量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
垂直度測(cè)量精度:
±0.5%實(shí)測(cè)值2m± 0.5弧秒*
±2.5%實(shí)測(cè)值10m± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口:
積分信號(hào)
32 Bit (
實(shí)時(shí)時(shí)間
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn):
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

與歐洲某品牌激光干涉儀的參數(shù)對(duì)比
 
耶拿爾干涉儀
歐洲某品牌
 
型M700
型號(hào):XX-XX
工作原理:
雙頻激光干涉原理(外差式, 頻差640MHz)
單頻零差式激光干涉原理,采用遠(yuǎn)程干涉測(cè)量法
波長(zhǎng):
632.991nm
632.991nm
激光輸出功率:
<1mW Class II (可選 Class 3R)
<1mW Class II
1小時(shí)內(nèi)穩(wěn)頻精度:
0.002ppm
0.04ppm
產(chǎn)品壽命內(nèi)穩(wěn)頻精度:
0.02ppm
0.1ppm/
壽命:
約20000小時(shí)
約8000小時(shí)
穩(wěn)定工藝:
溫度穩(wěn)定法(對(duì)兩種模式進(jìn)行比較,外差式)
零差式(1種模式)
激光束直徑:
6mm可選3.2mm)
6mm
每束激光可測(cè)量的軸數(shù):
1-6
1
測(cè)量范圍
 
 
距離 :
0...40m,可選120m
0...40m,可選80m
角度:
± 15°,軸線范圍20m
± 5° ,軸線范圍15m
直線度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
垂直度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
分辨率
 
 
距離 (使用角隅反射鏡) :
0.6 nm,速度v= 4m/s
1nm,速度v=4m/s
 
0.3 nm,速度v= 2m/s
 
 
0.1 nm,速度v= 1m/s
 
角度:
0.003角秒(0.015µrad)
0.1µrad
直線度(短距離):
7nm
10nm
垂直度(短距離):
7nm
10nm
直線度(長(zhǎng)距離):
36nm
100nm
垂直度(長(zhǎng)距離):
36nm
100nm
精度
 
 
距離:
+/-0.4ppm
+/-0.5ppm
角度:
+/-0.1ppm
+/-0.6%實(shí)測(cè)值
直線度(短距離):
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
垂直度(短距離):
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
直線度(長(zhǎng)距離):
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
垂直度(長(zhǎng)距離):
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
光學(xué)鏡(直線度用):
差分干涉鏡
無(僅使用一個(gè)Wollaston棱鏡)
系統(tǒng)的線性度:
非常好(這是因?yàn)槭褂昧瞬罘指缮骁R)
不明(取決于Wollaston棱鏡質(zhì)量)
可測(cè)量到的偏差范圍
 
 
直線度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
垂直度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
輔助調(diào)節(jié):
計(jì)算機(jī)輔助調(diào)節(jié)
小孔
接口:
PCI
USB
 
cPCI (PXI)
 
 
USB
 
 
AquadB (積分信號(hào))
 
 
32bit實(shí)時(shí)
 
采樣速度:
 0.001Hz - 1MHz (可調(diào))
50 kHz

ZLM700部分應(yīng)用的光路圖


 

關(guān)鍵詞:PC 電纜
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