規(guī)格:
測(cè)試技術(shù):探針輪廓技術(shù)
測(cè)試功能:二維表面輪廓測(cè)試
樣品視場(chǎng):640*480像素,USB;17 inc 平板顯示器
探針傳感器:低慣量傳感器(LIS 3)
探針壓力:使用LIS 3傳感器:1至15 mg
使用N-lite傳感器:0.03至15 mg
探針選項(xiàng):探針曲率半徑可選范圍:50 nm至25 um;
高徑比針尖:10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺(tái):手動(dòng)X/Y/@:100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn),可手動(dòng)校平;
可選Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái),100 mm行程,1um重現(xiàn)性,0.5 um分辨率;
可選X-Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái),150 mm行程;
1um重現(xiàn)率,0.5 um 分辨率
計(jì)算機(jī)系統(tǒng): 主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件:Dektak軟件
臺(tái)階檢測(cè)軟件
可選應(yīng)力測(cè)量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置:可選桌式震動(dòng)隔離裝置
可選臺(tái)式震動(dòng)隔離裝置
性能
掃描長(zhǎng)度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) zui多12萬(wàn)數(shù)據(jù)點(diǎn)
zui大樣品厚度 高達(dá)90 mm (4英寸),取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺(tái)階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍:標(biāo)準(zhǔn)524um(0.02英寸);可選1mm
垂直分辨率:zui大1A(6.55um垂直范圍下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
電源要求:
輸入電壓: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ