NT系列機器人:
NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝,雙手臂
應(yīng)用:
- 無塵室
無塵機器人外設(shè):
- 抓手
- 校準(zhǔn)器NS004
- 產(chǎn)品介紹
應(yīng)用范例
NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室,而不需要一個梭子或額外的機器人。
布局范例
一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。
NT系列機器人規(guī)格
型號 | NT410 | NT420 | NT510 | NT520 | NT620 | |
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構(gòu)造 | 水平多關(guān)節(jié)型 | |||||
自由度 | 4 軸 | 5 軸 | 4 軸 | 5 軸 | 5 軸 | |
運動范圍 | θ1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° |
Z 軸 (上下JT3) | 400 mm | 400 mm | 470 mm | 470 mm | 600 mm | |
θ2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT4) | 340° | 340° | 340° | 340° | 340° | |
H1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT6) | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | 340° (380°) *2 | |
H2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT7) | - | 340° | - | 380° | 380° | |
大伸展距離 | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,230 mm | 1,280 mm | 1,250.7 mm | |
重復(fù)性 | ± 0.1 mm (晶圓中心) | |||||
無塵度*1 | ISO 1級 | |||||
控制柜 | D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜) |
*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測得