NT系列機器人:
NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝,雙手臂
應用:
- 無塵室
無塵機器人外設:
- 抓手
- 校準器NS004 的伸展距離單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP多到五個。高吞吐量標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時(WPH)與不用校準器400WPH??捎眠x配的抓手,增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合規NT型號可以瞬時響應電波動,如電壓下降,并且在電壓恢復時自動恢復運行。SEMI S2合規NT型號可以滿足對環境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。懸掛式安裝NT620型號具有吊裝規格設計,用于在化學液體環境中使用,同時滿足ISO1級的要求。
應用范例
NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室,而不需要一個梭子或額外的機器人。
布局范例
一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。
NT系列機器人規格
型號 NT410 NT420 NT510 NT520 NT620 構造 水平多關節型 自由度 4 軸 5 軸 4 軸 5 軸 5 軸 運動范圍 θ1 軸
(旋轉JT2)340° 340° 340° 340° 340° Z 軸
(上下JT3)400 mm 400 mm 470 mm 470 mm 600 mm θ2 軸
(旋轉JT4)340° 340° 340° 340° 340° H1 軸
(旋轉JT6)340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 H2 軸
(旋轉JT7)- 340° - 380° 380° 大伸展距離 1,230 mm 1,280 mm 1,230 mm 1,280 mm 1,250.7 mm 重復性 ± 0.1 mm (晶圓中心) 無塵度*1 ISO 1級 控制柜 D60/D61 (規格見無塵控制柜) *1: 于川崎的無塵間內測得