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系統(tǒng)300片/h

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SORTERSYST
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/12/19 17:13:57
  • 訪問次數(shù)6
產(chǎn)品標簽:

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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū),是由留學歸國技術人員所創(chuàng)辦的高科技技術型企業(yè)。  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業(yè)20年的實際從業(yè)經(jīng)驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產(chǎn)線效率,降低生產(chǎn)成本; JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產(chǎn)品以及優(yōu)質、快捷的服務。
潔凈機械手臂
系統(tǒng)300片/h
系統(tǒng)300片/h 產(chǎn)品信息
特點

    可實現(xiàn)300片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運系統(tǒng),系統(tǒng)內部使用了本公司設計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準器

  • 符合SEMI標準(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • Aligner具有Buffer功能,能夠實現(xiàn)晶圓的更換動作,提高了設備的Throughput
  • 配備ID Reader,能夠讀取晶圓的ID信息(晶圓正反面對應為選配)
  • 上述標準規(guī)格之外,以下規(guī)格的產(chǎn)品也可以定制
        1. 4 FOUP對向擺放(Throughput為400片/h)
        2. 4 FOUP的inline類型(Throughput為600片/h)

應用設備實例

半導體生產(chǎn)線

規(guī)格
對應片盒 300 mm FOUP(25片)
SEMI E47.1,E62標準品
對應晶圓 300 mm 硅片(厚度775 µm)
Throughput* 300片/h
潔凈度 ISO標準 Class 2(FFU使用)
外形尺寸* W1250xD2500xH1900
重量* 大約 800 kg
廠務 電源:AC200V±10% 2kVA
干燥空氣:0.5MPa±10%
真空:優(yōu)于-53 kPa

*測試機型:4個FOUP的inline類型(1臺潔凈機械手臂,1臺橫向移動裝置)

關鍵詞:機械手
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