特點
- 機械手臂標準臂長：160 mm，190 mm，260 mm，330 mm
- Z軸（升降軸）標準長度：20 mm，40 mm
- 可搬運重量：手臂第3關節(jié)處基準2kgf以下（臂長160 mm，260 mm，330 mm）
手臂第3關節(jié)處基準3 kgf以下（臂長190 mm） - 手臂關節(jié)處使用磁流體密封裝置
- 真空密封：磁流體密封及波紋管
- 提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級過濾器
- 配備動作監(jiān)視器
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 全軸采用2相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
- 可以選配伺服電機規(guī)格
- 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
- 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
- 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優(yōu)選的手指
產(chǎn)品，穩(wěn)定性好，性價比高，也可用于搬運托盤
應用設備實例
PE-CVD設備；刻蝕設備；高溫PVD設備
規(guī)格
| 被搬運物 | ?300 mm晶圓 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關節(jié)中心基準） | 520 mm | 330度 | 40 mm |
| 搬運速度 (平均速度)* | 300 mm/sec | 120度/sec | 20 mm/sec |
| 搬運速度 (速度)* | 550 mm/sec | 170度/sec | 30 mm/sec |
| 精度* | 82 µm | 0.009度 | 1.25 µm |
| 搬運高度* | 98 mm（法蘭安裝面到手指安裝面的高度） | ||
| 重復性精度 | ±0.1 mm以內(nèi) | ||
| 潔凈度 | 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置 | ||
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 8A | ||
*測試機型：SVCR3260-040-PM（步進電機規(guī)格）(中具有代表性的標準品)
