特點
- 機械手臂標準臂長:100 mm,130 mm,160 mm,200 mm
- Z軸(升降軸)標準長度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
- 可搬運重量:手臂第3關(guān)節(jié)處基準3 kgf以下
- 雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
- 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
- 配備動作監(jiān)視器
- 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
- 全軸采用2相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
- 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
- 手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
- 可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指
雙手臂結(jié)構(gòu),晶圓搬運效率更高
應(yīng)用設(shè)備實例
EFEM;PE-CVD設(shè)備;AOI設(shè)備
規(guī)格
被搬運物 | ?300 mm晶圓 | ||
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手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
可動范圍* (手臂第3關(guān)節(jié)中心基準) | 315 mm | 340度 | 300 mm |
搬運速度 (平均速度)* | 570 mm/sec | 220度/sec | 200 mm/sec |
搬運速度 (速度)* | 1140 mm/sec | 270度/sec | 250 mm/sec |
精度* | 12.6µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm |
搬運高度* | 620 mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度) | ||
重復(fù)性精度 | ±0.1 mm以內(nèi) | ||
潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下) | ||
廠務(wù) | 電源:DC24V±10% 16A 真空:優(yōu)于-53 kPa |
*測試機型:STCR4160S-300-PM,使用JEL標準真空吸附式手指