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4軸圓柱坐標型雙臂潔凈機械手臂

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號STCR4000S
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/12/19 16:57:22
  • 訪問次數(shù)4
產(chǎn)品標簽:

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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),是由留學(xué)歸國技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)。  公司核心技術(shù)人員擁有在國內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)20年的實際從業(yè)經(jīng)驗,能夠設(shè)計可用于半導(dǎo)體設(shè)備的各種自動化設(shè)備。公司當前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產(chǎn)線效率,降低生產(chǎn)成本; JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。
潔凈機械手臂
超潔凈無塵間用4軸圓柱坐標型潔凈機械手臂STCR4000S系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運,雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
4軸圓柱坐標型雙臂潔凈機械手臂 產(chǎn)品信息
特點

    雙手臂結(jié)構(gòu),晶圓搬運效率更高

  • 機械手臂標準臂長:100 mm,130 mm,160 mm,200 mm
  • Z軸(升降軸)標準長度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
  • 可搬運重量:手臂第3關(guān)節(jié)處基準3 kgf以下
  • 雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
  • 配備動作監(jiān)視器
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用2相步進電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
  • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
  • 手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指

應(yīng)用設(shè)備實例

EFEM;PE-CVD設(shè)備;AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動范圍*
(手臂第3關(guān)節(jié)中心基準)
315 mm 340度 300 mm
搬運速度 (平均速度)* 570 mm/sec 220度/sec 200 mm/sec
搬運速度 (速度)* 1140 mm/sec 270度/sec 250 mm/sec
精度* 12.6µm以下 0.0045度 6.25 µm
搬運高度* 620 mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度)
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標準 Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
廠務(wù) 電源:DC24V±10% 16A  真空:優(yōu)于-53 kPa

*測試機型:STCR4160S-300-PM,使用JEL標準真空吸附式手指

關(guān)鍵詞:機械手
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