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4軸水平多關節型潔凈機械手臂(帶有對應PLP自動校準功能的機械手臂)

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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經濟技術開發區,是由留學歸國技術人員所創辦的高科技技術型企業。  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業20年的實際從業經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發的小尺寸晶圓自動裝卸載系統具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續不斷的為中國市場提供專業、高性價比的產品以及優質、快捷的服務。
潔凈機械手臂
AOI設備
4軸水平多關節型潔凈機械手臂(帶有對應PLP自動校準功能的機械手臂) 產品信息
特點

    帶有對應PLP自動校準功能的4軸水平多關節型潔凈機械手臂

  • 適用于并列配置工位的傳送
  • 非接觸校準功能可實現高精度的搬運
  • 可搬運重量10kg

應用設備實例

AOI設備

規格
被搬運物 基板 500 mm x 500 mm
  手臂 旋轉 升降
可動范圍*
(被搬送物體中心到達距離)
1290 mm 330 度 400 mm
搬運速度* 1170 mm/1.6 sec 330 度/1.5 sec 400 mm/1.4 sec
精度* 第1關節軸 (J1軸) 第2關節軸 (J2軸) 第3關節軸 (J3軸)
3.5x10-3 1.8x10-3 1.8x10-3
第4關節軸 (J4軸)  
2.4x10-3  
重復性精度 ±0.2 mm以內
潔凈度 0.3 µm/cf Class 10 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務 電源:単相AC200V±10% 4 kVA
真空:優于-53 kPa
質量 機械手臂本體 大約120 kg

*測試機型:JCR4400-400-AM(帶有對應PLP自動校準功能的機械手臂)

關鍵詞:機械手
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