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晶圓外觀檢測機 Z21130

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深圳市智佳能自動化有限公司注冊成立于2003年,總部坐落于深圳市光明區新湖街道紅銀路65號;在光明、東莞黃江和塘廈分別設有廠區,約16萬平米的占地生產面積。并在全國各地設立了多家區域技術服務中心。現有員工2000余人,與寧德時代、比亞迪、LG、KNS、青山控股、億緯鋰能、遠景AESC、中航鋰電、蜂巢能源及欣旺達等行業建立了深厚信任并保持長期合作,實現了海內外業務的滲透。智佳能致力于成為新能源鋰電池后段化成分容自動化生產線、人工智能、機器人、半導體檢測設備、顯示面板等智能裝備的解決方案提供商。為新能源、顯示面板、半導體等行業提供總體規劃設計、系統集成、軟件開發、設備定制、電控系統開發、現場安裝調試、客戶培訓和售后服務等一系列業務。智佳能價值觀智佳能的精神:真誠、創新、拼搏、智佳能的宗旨:為客戶創造價值,為員工創造機會,為社會創造效益!
機器人
晶圓外觀檢測機Z21130設備功能晶圓類:MiniLED晶圓、光敏二極管
晶圓外觀檢測機 Z21130 產品信息

晶圓外觀檢測機 Z21130


  設備功能


   ⚪ 晶圓類:Mini LED晶圓、光敏二極管。

   ⚪ 正面:電極(缺陷、刮傷/刮痕、臟污、多金、鼓泡、方向)發光區(多胞、剝落、磊晶、崩邊、變形、殘留)隔離槽(臟污、劃裂、超標、劃傷、崩缺)。
   ⚪ 反面:切割不良、凹凸點、崩缺、失晶。



  產品亮點


   ⚪ 搭配3種倍率鏡組,使用者可針對晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率,系統搭配最小解析度為0.5um,通??梢詸z測1.5um左右的瑕疵尺寸。

   ⚪ 使用的打光成像技術,結合明暗光場方式和光源角度、亮度及取像模式,可對應不同種類缺陷成像。
   ⚪所有檢測結果都會存檔記錄,提供瑕疵原始資料有助于分析生產瑕疵優勢



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