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JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱廣州文明機(jī)電有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地廣州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/12/16 7:31:25
  • 訪問次數(shù)2
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廣州文明機(jī)電有限公司,簡稱GZ CVL(GZ Civil Mechatronic)成立于2006年,是業(yè)內(nèi)的企業(yè),由留學(xué)歸國的北京大學(xué)博士后和華南師范大學(xué)MBA班學(xué)生共同創(chuàng)辦,擁有數(shù)十項,為廣東省科技型中小企業(yè),屬國家與專精特新培育企業(yè)。十幾年來,我們一直專注的領(lǐng)域包括科學(xué)儀器、汽車測試儀器、非標(biāo)自動化設(shè)備、測試測量與控制、嵌入式開發(fā)工具和軟件工程。“GZ CVL”始終堅持品牌化經(jīng)營戰(zhàn)略,以服務(wù)為基礎(chǔ),以質(zhì)量求生存,以管理求發(fā)展,秉承一切以客戶為中心的服務(wù)理念。憑借多年來客戶的信任和支持,“GZ CVL”積累了豐富的營銷及安裝經(jīng)驗,是一家擁有的管理,的技術(shù)、高水平的營銷和完善的售后服務(wù)為一體化的專業(yè)化測試及分析儀器設(shè)備公司。工業(yè)推動中國,創(chuàng)新感動世界,GZ CVL以“創(chuàng)、建百年企業(yè)”為奮斗目標(biāo),積極促進(jìn)“中國制造”向“中國創(chuàng)造”的轉(zhuǎn)變。公司以“科技開創(chuàng)未來”為宗旨,以專業(yè)技術(shù)為核心,以優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為先導(dǎo),為我國測試及分析技術(shù)發(fā)展做貢獻(xiàn),努力實現(xiàn)中國工業(yè)騰飛。 廣州文明依靠國內(nèi)外測試和分析儀器設(shè)備領(lǐng)域多家國際化大公司以及中山大學(xué)、華南理工大學(xué)的雄厚技術(shù)實力,代理專業(yè)測試分析儀器設(shè)備,開展相關(guān)技術(shù)培訓(xùn),自主研發(fā)配套軟硬件,并提供的系統(tǒng)解決方案。公司具有持續(xù)的自主創(chuàng)新能力和科研成果轉(zhuǎn)讓或者產(chǎn)業(yè)化的實力,核心產(chǎn)品包含:新能源汽車測試臺架,空燃比分析儀,尾氣分析儀,掃描電鏡,熱分析儀,光譜分析儀,質(zhì)譜分析儀等。"GZ CVL" 和 "希為爾"為廣州文明機(jī)電有限公司所擁有的兩個注冊商標(biāo)。本公司是日本HORIBA,日本Lineeye,美國Applus, 美國Innovate,美國midtronics,瑞典Kvaser,英國PICO,日本電子捷歐路(JEOL),德國林賽斯、韓國K LAB等公司的中國代理和經(jīng)銷商。GZ Civil Mechatronic Co. Ltd.(), founded on 2006.It is a well-known enterprise in the industry, focus on test and analytical instruments R & D, manufacture and sales. Our company is committed to carry out the relevant technical training, independent research and development of automotive and industrial automation system, and provide the most effective system solutions. Our core products include: Automotive teaching training equipment, engine power test system, automobile oscilloscope, exhaust gas analyzer etc. 所獲榮譽:一、廣州市科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金二、“LM-2空燃比測試儀”榮獲“全國20佳維修工具”獎三、汽車示波器 3423-kit榮獲“全國20佳維修工具”獎四、“立富L總線分析儀”榮獲“全國20佳維修工具”特別獎五、廣東省“優(yōu)秀信用企業(yè)”六、阿里巴巴誠信通會員七、慧聰網(wǎng)買賣通會員八、具有外貿(mào)進(jìn)出口權(quán)九、是增值稅一般納稅人十、自有商標(biāo)品牌十一、廣東省科技型中小企業(yè)
JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。
JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。

此外,由于具有100MHz的掃描速度,場尺寸在1000µm×1000µm時的套刻精度達(dá)到±11nm、場拼接精度為±10nm、寫場內(nèi)位置精度達(dá)±9nm,是兼具高水準(zhǔn)產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。

由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位,掃描DAC為14位,能獲得0.25nm的掃描步距,分辨率更高,描畫數(shù)據(jù)增長1nm,可以更忠實地再現(xiàn)描畫數(shù)據(jù)。

達(dá)到100MHz的高速化掃描速度,保證了大電流描畫時的掃描步距很短,因而能提高對精度要求的圖形描畫的產(chǎn)出量。

由激光束控制(LBC)的0.15nm(λ/4096)的最小定位單位及高分辨率,達(dá)到了高水準(zhǔn)的位置精度。

本公司獨自的自動校正功能(自動補(bǔ)償功能),實現(xiàn)了可信賴的長時間穩(wěn)定地描畫。自動補(bǔ)償可以根據(jù)時間(任意的)、場和圖形進(jìn)行分別設(shè)定,非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時間描畫。

該系統(tǒng)能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版,適合于納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等各種領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)(選配),最多可裝載10個卡匣。

利用微間距控制程序(場尺寸微調(diào)程序)可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

電子槍ZrO/W 肖特基型
描畫方式圓形束, 矢量掃描, 步進(jìn)重復(fù)式
加速電壓100kV
樣品尺寸 樣品尺寸 (可以安裝): 300mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。
場尺寸1000µm×1000µm
樣品臺移動范圍260mmX240mm
樣品臺控制單元0.15nm(λ/4096)
套刻精度≦±11nm
場拼接精度≦±10nm (場尺寸為1000µm×1000µm)
寫場內(nèi)位置精度≦±9nm(場尺寸為1000µm×1000µm)
定位DAC20位
掃描速度 100MHz
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