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JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱廣州文明機電有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地廣州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/12/16 7:29:57
  • 訪問次數(shù)2
產(chǎn)品標簽:

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廣州文明機電有限公司,簡稱GZ CVL(GZ Civil Mechatronic)成立于2006年,是業(yè)內(nèi)的企業(yè),由留學歸國的北京大學博士后和華南師范大學MBA班學生共同創(chuàng)辦,擁有數(shù)十項,為廣東省科技型中小企業(yè),屬國家與專精特新培育企業(yè)。十幾年來,我們一直專注的領(lǐng)域包括科學儀器、汽車測試儀器、非標自動化設(shè)備、測試測量與控制、嵌入式開發(fā)工具和軟件工程。“GZ CVL”始終堅持品牌化經(jīng)營戰(zhàn)略,以服務為基礎(chǔ),以質(zhì)量求生存,以管理求發(fā)展,秉承一切以客戶為中心的服務理念。憑借多年來客戶的信任和支持,“GZ CVL”積累了豐富的營銷及安裝經(jīng)驗,是一家擁有的管理,的技術(shù)、高水平的營銷和完善的售后服務為一體化的專業(yè)化測試及分析儀器設(shè)備公司。工業(yè)推動中國,創(chuàng)新感動世界,GZ CVL以“創(chuàng)、建百年企業(yè)”為奮斗目標,積極促進“中國制造”向“中國創(chuàng)造”的轉(zhuǎn)變。公司以“科技開創(chuàng)未來”為宗旨,以專業(yè)技術(shù)為核心,以優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為先導,為我國測試及分析技術(shù)發(fā)展做貢獻,努力實現(xiàn)中國工業(yè)騰飛。 廣州文明依靠國內(nèi)外測試和分析儀器設(shè)備領(lǐng)域多家國際化大公司以及中山大學、華南理工大學的雄厚技術(shù)實力,代理專業(yè)測試分析儀器設(shè)備,開展相關(guān)技術(shù)培訓,自主研發(fā)配套軟硬件,并提供的系統(tǒng)解決方案。公司具有持續(xù)的自主創(chuàng)新能力和科研成果轉(zhuǎn)讓或者產(chǎn)業(yè)化的實力,核心產(chǎn)品包含:新能源汽車測試臺架,空燃比分析儀,尾氣分析儀,掃描電鏡,熱分析儀,光譜分析儀,質(zhì)譜分析儀等。"GZ CVL" 和 "希為爾"為廣州文明機電有限公司所擁有的兩個注冊商標。本公司是日本HORIBA,日本Lineeye,美國Applus, 美國Innovate,美國midtronics,瑞典Kvaser,英國PICO,日本電子捷歐路(JEOL),德國林賽斯、韓國K LAB等公司的中國代理和經(jīng)銷商。GZ Civil Mechatronic Co. Ltd.(), founded on 2006.It is a well-known enterprise in the industry, focus on test and analytical instruments R & D, manufacture and sales. Our company is committed to carry out the relevant technical training, independent research and development of automotive and industrial automation system, and provide the most effective system solutions. Our core products include: Automotive teaching training equipment, engine power test system, automobile oscilloscope, exhaust gas analyzer etc. 所獲榮譽:一、廣州市科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金二、“LM-2空燃比測試儀”榮獲“全國20佳維修工具”獎三、汽車示波器 3423-kit榮獲“全國20佳維修工具”獎四、“立富L總線分析儀”榮獲“全國20佳維修工具”特別獎五、廣東省“優(yōu)秀信用企業(yè)”六、阿里巴巴誠信通會員七、慧聰網(wǎng)買賣通會員八、具有外貿(mào)進出口權(quán)九、是增值稅一般納稅人十、自有商標品牌十一、廣東省科技型中小企業(yè)
高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng),通過的設(shè)計優(yōu)化,實現(xiàn)更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節(jié)能。
JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng),通過的設(shè)計優(yōu)化,實現(xiàn)更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節(jié)能。


◇ 節(jié)省空間

標準的設(shè)備占地面積為4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往機型占用空間更小,外形更加緊湊美觀。

◇ 低功耗

正常工作時的功耗約為3kVA,僅需以往機型耗電量的1/3。

◇ 高產(chǎn)能

具備高分辨率和高速兩種刻寫模式,非常適用于超微細加工以及批量生產(chǎn)。該設(shè)備減少了刻寫過程中的無謂耗時,并將掃描頻率提升至業(yè)界最水準的125MHz (以往機型的1.25~2.5倍),使其具備更高的生產(chǎn)能力。

◇ 機型

JBX-8100FS系列設(shè)有G1(基本版)和G2(全配版)兩種機型。G1機型裝機后也可進行升級,使其支持更高的應用需求。

◇ 新功能

安裝光學顯微鏡(選配)后,在避免光刻膠感光的的同時可對材料上的圖形進行確認。設(shè)備還配備了信號塔(標配),實現(xiàn)了視覺范圍內(nèi)的系統(tǒng)運行狀況監(jiān)控。

◇ 激光定位分辨率

采用分辨率為0.6nm的激光干涉儀,對樣品臺位置進行高精度的量測控制。

◇ 系統(tǒng)控制

配備了Linux®系統(tǒng),圖形用戶界面使操作更加簡單,便于初學者使用。數(shù)據(jù)準備程序支持Linux®和Windows®


備注:
Linux® 為Linus Torval在日本及其它國家的注冊商標或商標。
Windows為美國微軟公司在美國及其它國家的注冊商標或商標。

主要技術(shù)指標

機型

G1 (基本版)

G2 (全配版)

描畫方式

圓形束斑, 矢量掃描, 步進重復移動方式

加速電壓

100kV

100kV/50kV

電流

5×10-12 ~ 2×10-7A

寫場尺寸

1,000μm×1,000μm

2,000μm×2,000μm 

掃描頻率

125MHz

樣品臺移動范圍

190mm×170mm

套刻精度

≦±9nm

場拼接精度

≦±9nm

正常工作時的功耗

3kVA

樣品尺寸

200mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版及任意尺寸的的微小樣品。

材料傳送

(1張)自動裝載系統(tǒng)

(12張)自動裝載系統(tǒng)

主要選配件

光學顯微鏡
  
25kV加速電壓
  
數(shù)據(jù)準備程序的追加

關(guān)鍵詞:光學顯微鏡
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