◇ 新操作導(dǎo)航SEM Center-集成了EDS操作
新開發(fā)的操作GUI“SEM Center”將SEM成像觀察和EDS分析整合在一起,實(shí)現(xiàn)了圖像觀察和元素分析的無(wú)縫數(shù)據(jù)采集。
◇ 新功能Zeromag
“Zeromag”,結(jié)合了從光學(xué)圖像到SEM成像的無(wú)縫轉(zhuǎn)換,很容易定位試樣目標(biāo)微區(qū)。
◇ 新功能Live-AI filter(實(shí)時(shí)圖像視覺增強(qiáng)器人工智能過(guò)濾器) option
配備人工智能Live-AI filter。與圖像集成處理不同,這種新的過(guò)濾器可以顯示無(wú)縫移動(dòng)的實(shí)時(shí)圖像,沒有殘留圖像。這種的特征對(duì)于快速搜索觀察區(qū)域、聚焦和消像散調(diào)整非常有效。
◇ In-lens 肖特基-Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍(FEG)
電子槍和低像差聚光鏡的增強(qiáng)集成實(shí)現(xiàn)了更高的亮度。能夠有效收集電子槍產(chǎn)生的電子,即使低加速電壓下也能得到數(shù)pA-數(shù)十pA的電流,支持高分辨觀察、高速元素分析和EBSD分析。
◇ 混合透鏡(HL)
混合透鏡(HL)是靜電和電磁場(chǎng)透鏡的組合,支持從磁性材料到絕緣體等各種樣品的高空間分辨率成像和分析
◇ Neo Engine
Neo Engine是一種前沿的電子光學(xué)控制系統(tǒng),在自動(dòng)功能的精度上有了顯著的提高,可操作性也更高。即使變更電子光學(xué)條件,光軸也不偏差,操作性和觀察精度大幅提高。可以說(shuō)是JEOL電子光學(xué)技術(shù)的結(jié)晶。
◇ ACL
JSM-F100包括一個(gè)光闌角孔優(yōu)化透鏡(ACL)。ACL抑制入射電子的擴(kuò)散,以始終保持最小的探頭。這是通過(guò)對(duì)孔徑角度的優(yōu)化控制來(lái)實(shí)現(xiàn)的,以適應(yīng)探頭電流的大變化,使掃描電鏡的操作包括高分辨率成像和x射線分析順利進(jìn)行。
◇ 檢測(cè)器
4個(gè)檢測(cè)器。標(biāo)配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可選件RBED、USD
UED and USD
RBED and SED
分辨率(1 kV) | 1.3納米 |
分辨率(20 kV) | 0.9納米 |
加速電壓 | 0.01至30 kV |
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)器 | 高位電子檢測(cè)器(UED),二次電子檢測(cè)器(SED) |
電子槍 | 浸沒式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
探頭電流 | 幾pA至300 nA (30 kV) |
物鏡 | 混合式透鏡(HL) |
樣品臺(tái) | 全優(yōu)中心(eucentric)測(cè)角儀樣品臺(tái) |
樣品移動(dòng) | X軸:70毫米,Y軸:50毫米,Z軸:2至41毫米 |
EDS檢測(cè)器 | 能量分辨率:133 eV或更低 |