實現了高掃描透射像(STEM-HAADF)分辨率
JEM-ARM300F配備了JEOL自主研發的球差校正器,加速電壓可達300kV,是一款原子級分辨率電子顯微鏡。實現了高的STEM-HAADF像分辨率。
STEM-HAADF像的保證分辨率達到了的58pm
采用JEOL自主研發的球差校正器,掃描透射像(STEM像)的保證分辨率可達58pm(300kV,超高分辨率極靴、使用STEM球差校正器時)。
ETA校正器 JEOL自主研發的12極球差校正器 ※選配件
ETA校正器(Expanding trajectory aberration corrector)是JEOL研發的擴展軌道型12極球差校正器。可以在用戶現場加裝STEM球差校正器及TEM球差校正器。
強大的冷場發射電子槍HyperCF300
標配了全新設計的冷場發射電子槍,低能散、高亮度電子束能提供高分辨率觀察和分析。
兩種物鏡極靴
為了支持用戶廣泛的需求,研發了兩種各具特點的物鏡極靴。
豐富的選購件
能安裝超大立體角EDS(能譜儀)、EELS(電子能量損失譜儀)、背散射電子檢測器及四種STEM觀察檢測器。
大范圍的加速電壓設置
標配300kV和80kV下的球差校正數據,可選的加速電壓范圍從40KV?300kV,使用范圍極廣。
新開發的真空系統
新的排氣系統達到了的真空度,在原子尺度的圖像觀察和分析中,限度地減輕了對樣品的污染和損傷。
高穩定的鏡筒和樣品臺
整體穩定性高、直徑330mm的鏡筒增加了機械剛度, 在JEM-ARM200F高度穩定的技術基礎之上,把電氣穩定性和對環境的抗干擾能力提高到新高度。
分辨率 | 300 kV,80 kV | |
物鏡種類※1 | UHR極靴 | HR極靴 |
STEM分辨率(300kV) 使用STEM校正器 | 0.058nm | 0.063nm |
TEM分辨率(300 kV) | 線分辨率0.05nm | 線分辨率0.06nm |
使用TEM校正器 | 非線性信息分辨極限0.06nm | 非線性信息分辨極限0.07nm |
線性信息分辨極限0.09nm | 線性信息分辨極限0.12nm |