設備適用于PET薄膜和Glass玻璃基底上的導電材料進行高速激光刻蝕、剝離。
適用材料
玻璃/薄膜表面氧化銦錫(ITO),銀漿(Ag)、碳納米管(CNT)、石墨烯、納米銀、鉬鋁鉬、銅、高分子導電膜、鋁薄膜、PERC、鈣鈦礦電池、FTO、TCO、碳粉等涂層材料的超細線寬激光蝕刻。
應用行業
1.手機、車載、平板、智能穿戴,點餐機等觸控屏GF,GFF,OGS。
2.車載觸控屏體的OGS上導電膜層的刻蝕。
3.薄膜太陽能電池、鈣鈦礦電池等光伏行業。
4.新興能源行業,如電致色調光玻璃等。
5.發光玻璃、戶外顯示玻璃、顯示柔性薄膜等。
6.其他顯示屏。
產品特點
1.激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產品一致性高,良率高達99%,無耗材,環保,可靠穩定。
2.CCD相機自動定位,加工精度高。
3.設備操作簡單,圖檔更新方便,制程縮短,稼動率高。
4.設備控制軟件能夠實現自動圖檔分割,移動拼接加工,拼接精度可達±3μm
5.耗電量省,操作人員少,無污染,生產成本低。
技術參數/Specification
激光器 | 光纖激光器 | 綠光激光器 | 紫外激光器 |
激光波長 | 1064nm | 532nm | 355nm |
激光功率 | 20W | 10W | 10W |
脈沖寬度 | 納秒、飛秒、皮秒可選 | 納秒、皮秒可選 | 納秒、皮秒可選 |
最小聚焦光斑 | <10μm(視材料與激光器類型、脈寬而定) | ||
最小刻蝕線寬 | <10μm(視材料與激光器類型、脈寬而定) | ||
刻蝕速度 | <4000mm/s | ||
加工范圍 | 600mmX600mm(標準尺寸,可根據客戶要求定制) | ||
單次幅面 | 110mmX110mm (標準配置,根據需求可選配) | ||
CCD自動定位精度 | ±3μm | ||
直線電機工作臺定位精度 | ±2μm | ||
直線電機工作臺重復精度 | ±1um | ||
設備尺寸 | 1650mmL×1300mmW×1670mmH | ||
設備重量 | 1800kg | ||
可處理文件格式 | 標準Gerber文件,DXF文件,PLT文件等 |
元祿光電已開發出小型FTO、ITO激光刻蝕設備,可用于前期實驗階段加工,歡迎電話咨詢了解。