精密質(zhì)量流量控制計(jì)(MFC),該產(chǎn)品是經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的適合多種應(yīng)用場(chǎng)合的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,流量精準(zhǔn)度及性價(jià)比高,的傳感器和閥控技術(shù),經(jīng)過(guò)實(shí)地應(yīng)用驗(yàn)證的平臺(tái)組件以及高速的
模擬/數(shù)字線路帶來(lái)準(zhǔn)的氣體流量控制,可以滿足客戶在數(shù)值和功能上對(duì)于MFC的不同要求。適用于半導(dǎo)體,平板顯示,數(shù)據(jù)存儲(chǔ),真空工業(yè),ICP光譜設(shè)備及太陽(yáng)能晶硅制程等不同行業(yè)。
流量計(jì)量程 300-5000sccm可選