MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發(fā)的用于高精度流量測量的新型質(zhì)量流量計(jì)。
這種高級型號(hào)采用新型低壓力毛細(xì)管流量傳感器，可確保高速響應(yīng)和長期穩(wěn)定性。
- 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
- F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可選） |
|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 響應(yīng)速度 | 1秒內(nèi) |
| 準(zhǔn)確性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | 在±0.2％FS（20°C）內(nèi) |
| 耐壓 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets） | |
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） |
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 約800g |
（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。
