本設備為高精度型流量計。
這是一款面積式流量計，通過自主研發的精密成型玻璃管和超精密球浮標，確保微小流量到中等流量范圍內的高精度，將“以流量計為標準”這一普遍的概念推向“精密儀器”領域。
- 可實現超微小流量范圍內的測量
- 可實現高精度測量
- 種類豐富
用途
- 用于整合設備
- 用于實驗室的流量檢查
- 用于半導體相關設備
- 用于生物領域
使用示例
尺寸圖
標準規格
| 氣體 | 流體 | ||
|---|---|---|---|
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校準） 其他氣體轉換校準，實際氣體校準單獨咨詢 ※選項：2種流體刻度 | 標準液體（H2O） 其他液體轉換校準 （但是，會產生與實際液體的誤差。） | |
| 流量范圍 | 0.5～5ML/MIN到1～100L/MIN（參見容量列表） ※可選：0.5～3ML/MIN
| 0.5～5ML/MIN到0.2～2L/MIN（參見容量列表） ※可選：0.5～3ML/MIN | |
| 精度 | FS±2％（測量點）※可選：FS±1％（測量點） | FS±2％（測量點） | |
| 耐壓 | 100ML/MIN以下：1.0MPa 5L/MIN以下：0.7MPa 10L/MIN以上：0.5MPa | 5ML/MIN以下：1.0MPa 150ML/MIN以下：0.7MPa 200ML/MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※可選 20：1 | ||
| 材質 | SS制 | BS制 | |
|---|---|---|---|
| 主體區塊 | SUS316 | 黃銅 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | ||
| 密封材料 | 氟橡膠 | NBR | |
| 浮標 | 硬質玻璃，SUS316 | ||
| 保護罩 | 丙烯 | ||
| 使用溫度 | 60℃ | ||
| 連接端口 | 1 / 4F 900（標準） | ||
容量列表
可選規格
- F.S. ±1％（計量點）
- 0.5～3ML/MIN Air（大氣壓）規格
注）全長為120mm的情況。 - 全氟醚橡膠0型圈規格
注）氣體1L/MIN以下無過濾器。 - 雙刻度規格
- 20：1刻度規格
