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SiC晶圓激光快速退火系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱成都萊普科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/11/23 2:21:50
  • 訪問次數(shù)7
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萊普科技成立于2003年,由廣東東駿集團(tuán)出資組建。經(jīng)過十余年的發(fā)展,已成長為國內(nèi)的激光專用加工設(shè)備研發(fā)、制造、銷售和服務(wù)的企業(yè)。公司具備深厚的技術(shù)研發(fā)和系統(tǒng)集成能力,承擔(dān)了多項部委、省市級重點(diǎn)技術(shù)創(chuàng)新項目,擁有五十多項及軟件著作權(quán)等自主核心知識產(chǎn)權(quán),現(xiàn)已成為國內(nèi)主要的行業(yè)應(yīng)用激光設(shè)備供應(yīng)商之一。 萊普科技致力于激光技術(shù)在專業(yè)細(xì)分市場的應(yīng)用,始終堅持以滿足客戶需求為己任,以技術(shù)創(chuàng)新為手段,以快速周到的服務(wù)贏得市場。多年來,在半導(dǎo)體晶圓制造、封裝測試、封裝、電子精密制造以及電子領(lǐng)域,推出了四大類三十余種激光專用裝備,為中國激光工業(yè)應(yīng)用的推廣、產(chǎn)業(yè)升級換代和專用裝備國產(chǎn)化做出貢獻(xiàn)。 萊普科技秉承”顧客為本,追求”的企業(yè)理念,在深圳、無錫、西安、長春等地設(shè)有常駐服務(wù)機(jī)構(gòu),竭誠為廣大客戶提供全面、高效的技術(shù)支持和售后服務(wù)。
半導(dǎo)體激光切割機(jī)
采用激光對重?fù)诫s SiC 表面沉積一種或幾種過渡金屬進(jìn)行合金化,精確控制激光能量和分布,形成良好的歐姆接觸。采用激光方式可忽略襯底正面結(jié)構(gòu)的影響,更好的與減薄工藝兼容,簡化工藝流程,提高器件性能。
SiC晶圓激光快速退火系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品特點(diǎn)
  • · 支持薄片退火 · 優(yōu)秀的退火表面形貌和電學(xué)特征

  • · 10-5Ωcm2量級的比接觸電阻率

  • · 高效率、低成本控制

  • · I F 值提高 30% 以上 · 完整的全程監(jiān)控反饋功能


應(yīng)用產(chǎn)品類型

1-1.jpg

技術(shù)指標(biāo)

項目LA2540S LA2550S
晶圓尺寸4/6 Inch 兼容
典型掃描時間180 sec/p @4 inch90 sec/p @4 inch
激光能量密度≥ 5J/cm2
激光輸出穩(wěn)定性≤ 2%,RMS,4hrs
比電阻接觸率

≤ 10 -5Ωcm2

自動傳片系統(tǒng)雙 LoadPort、多關(guān)節(jié)機(jī)器手、預(yù)準(zhǔn)直器

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