檢測設備
Taylor Hobson PGI Optics、Taylor Hobson CCI 2000
Zygo VeriFire PE、Zygo Newview 8200、日立 SU 1510掃描電子顯微鏡
有色金屬制造案例
基于鋁、銅等有色金屬材料,開展傳統光學元件,微結構元件,自由曲面光學元件的高精度制造技術研究。
紅外光學元件制造案例
基于常用紅外材料,研究傳統光學元件的車削加工工藝,實現亞微米量級的面形精度和納米量級的表面粗糙度的制造技術。
光學塑料元件制造案例
基于TPX、PMMA等光學塑料,研究傳統光學元件、自由曲面光學元件的加工工藝,滿足太赫茲領域、可見光領域的系統要求。
微結構光學、自由曲面光學等元件制造案例
Fly-cutting加工微米尺寸金屬材料金字塔結構模具(SEM檢測結果)
另外還有針對不同材料,對離軸面,雙錐面,多項式面等自由曲面光學元件的制造技術進行相應研究。
鋁基,金字塔陣列,口徑12.7mm; 鋁基,離軸拋物面, Φ 50mm;異性拋物面鏡,Φ170mm; 純鋁,圓棒,L板Ra=30±3nm