全自動雙軸切割系統
ADT 8020切割機有兩個對向的主軸,可同時切割晶圓,且產量高。這種高精度系統可切割直徑8"的工件,性能高,運行成本低。
特點和優點
靈活:支持3"外徑的輪轂和無輪轂刀片1.8kW或2.4 kW高功率主軸(適合嚴苛應用)
高級視覺系統,支持連續變焦縮放
19英寸觸摸屏顯示器,直觀操作界面
易于使用
8020使用ADT直觀的新圖形用戶界面(NUI)進行操作,配備了兩個觸摸屏:19"主屏幕和17"維護屏。維護屏協助執行系統設置過程、刀片更換和基本的維護操作。
其它主要特性
氣懸浮軸(X)快速自動對齊和切割定位,提高產量
自動刀痕檢測和質量分析,實現精度
流程數據記錄和統計分析
使用鎖定式主軸,更換刀片快速簡單
SECS/GEM平臺就緒
可接近系統所有區域,便于維護
主要應用
硅圓片/分立器件碳化硅(SiC)
微機電系統(MEMS)
表面聲波元件
玻璃晶片
封裝(QFN、LED等)