ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的雙軸(對向)全自動晶圓切割機。切割工件尺寸可達12英寸。
特征和優勢
?靈活性-支持3英寸刀片
?支持1.8KW或2.2KW大功率主軸(適用于更高要求的切割)
?使用17英寸觸摸顯示屏,操作界面直觀
廣泛應用性
?硅材料晶圓/分立器件
?碳化硅晶片
?MEMS產品
?SAW器件
?玻璃材質晶圓
?封裝(QFN,LED...)
操作便利性
ADT 8230系統使用開發的圖形用戶界面(GUI), 17英寸觸摸顯示屏具有更好的靈活性和視覺效果。
其它重要特征
?切割效率高-大幅降低使用成本
?空氣主軸
?快速自動對齊及切割定位,提高切割效率
?高精度的自動刀痕檢測及切割質量分析
?切割過程數據記錄和統計分析
?更換刀片時鎖定主軸,操作更快速、簡便
?SECS/GEM通信標準
?機器維護時可觸及系統的任何區域,帶來維護的便利性