4"-5" 高扭矩、直流無刷、空氣軸承、2.5 kW、30 krpm主軸系統(tǒng)，針對(duì)硬質(zhì)材料自動(dòng)切割進(jìn)行了優(yōu)化。
系統(tǒng)規(guī)格：
工件尺寸：∅200刀片尺寸：4"-5"
主軸：空氣軸承，直流無刷，30 krpm，2.5 kW
分度軸（Y）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承導(dǎo)螺桿，配步進(jìn)電機(jī)
控制：線性編碼器
分辨率：0.2 µm
累積精度(∅200): 1.5 µm
分度精度：1.0 µm
傳送軸（X）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機(jī)
傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機(jī)
分辨率：0.2 µm
精度：2.0 µm
重復(fù)精度：1.0 µm
旋轉(zhuǎn)軸 (T)
驅(qū)動(dòng)：閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無刷
精度：4 arc-sec
重復(fù)精度：4 arc-sec
行程：350度
視覺系統(tǒng)
數(shù)字?jǐn)z像頭
高亮LED照明（直射和斜射）
持續(xù)數(shù)字變焦：x170-x280或x35-x140（可選）。
清洗臺(tái)
沖洗和干燥循環(huán)
旋轉(zhuǎn)速度：100-2500 RPM
高壓：10MPa
二流體/霧化清潔功能
晶圓處理系統(tǒng)
插槽至插槽完整性
清理盒
首檢抽屜
BBD（破刀探測(cè)器）
選配
ESD（防靜電）套件
紫外線固化站
條形碼讀取器
磨刀臺(tái)
SECS-GEM 主機(jī)通信
用戶界面
17" 平面觸摸屏
新用戶界面（NUI）
多語言支持
鍵盤與鼠標(biāo)
設(shè)施
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣源/N2：700 L/分 @ 5.5 bar
500 L/min 壓縮空氣，200 L/min 制程氣體/N2
主軸冷卻水：1.1 L/min廠務(wù)端用水
流程用水（去離子水）：刀片/過程冷卻水：7L/分鐘
高壓清潔，5 L/min
二流體/霧化清潔，0.15 L/min
高壓清潔，5 L/min（可選）
尺寸 (WxDxH):
∅200: 965 x 1460 x 1700 mm
重量∅200：1200 kg
