智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器,來進行多種氣體混合,濃度稀釋的一種裝置。可根據客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍,并利用軟件進行控制。
產品優勢:
? 流量監測、記錄 ? 自動多段進氣
? 濃度自動配比 ? 多種氣體可選
? MFC 故障監測 ? 超壓檢測與報警處理
? 無線通訊控制(可定制) ? 手機APP監測(可定制)
產品參數:
產品名稱 | 智能氣路控制儀 | |
項目 | 參數 | 備注 |
流量范圍 | 標準四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制,至大量程不超過30SLM) |
精度 | ±1%F.S. | 其他精度可選 |
響應時間 | 2秒 | |
重復性 | 0.2%F.S. | 單路重復精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 標配,位于總出氣口,常閉截止閥 |
整機尺寸 | 490mm×500mm×200mm | 深×寬×高 |
供電電壓 | 220VAC | 100W |
單項功能 | √ | 4路標配,位于混氣前,避免氣體返流 |
自動進氣 | √ | 4路標配,按時間和流量自由編輯 10段數據點,3組數據切換,任意循環(定制) 可實現:濃度配氣,時間配氣,壓力配氣 |
自動報警 | √ | 標配,自動報警,自動關斷,實時監控設備狀態 |
數據處理 | √ | 標配,數據記錄保存,導出到U盤進行存儲 |
外接通訊 | 可選 | MODBUS-RTU |
漏率 | <1×108atm.cc /sec He |