結(jié)構(gòu)特點(diǎn):
單級(jí)式減壓結(jié)構(gòu)
膜片與母體采用硬密封結(jié)構(gòu),并有二次密封保護(hù)
上蓋帶有多重密封保護(hù)和排放接口
母體接口:1/4” 面密封內(nèi)螺紋
安全壓力:1.5倍使用壓力
輸入壓力:500 psi, 1500 psi, 3000 psi
輸出壓力:0~25 psi, 0~50 psi, 0~100 psi, 0~150 psi, 0~250 psi
適用溫度:-40℃ ~ 74℃ (-40°F ~ 165°F)
泄漏率:1×10-9 mbar.l/s
Cv 值:0.16
重量:1.54 kg (3.42 lbs)
材質(zhì):
母體:316L (EP), 可選C22哈氏合金
閥座:PCTFE
膜片:C22哈氏合金
閥桿:C22哈氏合金
適用范圍:
半導(dǎo)體
太陽能
真空鍍覆設(shè)備
特氣制備