設(shè)備用途:硅片預(yù)清洗和單晶制絨
生產(chǎn)節(jié)拍:6~10分鐘
裝機(jī)容量: 185KW(380V 50HZ)
溫控:采用PID控溫,可精確控制液體溫度0.5℃
排風(fēng)量:
設(shè)備外形尺寸:(L×W×H) 9300×2200×2300(mm)
清洗能力:4000PCS/1h
工藝規(guī)程
槽號(hào) 工序 方法 工序 說明 處理液 工作 溫度 (℃) 工序 時(shí)間 min 循 環(huán) 泵 加熱 均熱板 活 動(dòng) 蓋 板 清洗 溢 流 保 護(hù) 溢 流 功率 KW 加熱器 材質(zhì) 1 清洗 超聲 堿 50~90 6~10 有 24 不銹鋼 有 有 無 有 2 漂洗 超聲 DI水 50~90 6~10 無 24 不銹鋼 有 無 無 有 3 制絨 浸泡 堿 80~90 30~40 有 24 不銹鋼 有 有 無 有 4 制絨 浸泡 堿 80~90 30~40 有 24 不銹鋼 有 有 無 有 5 制絨 浸泡 堿 80~90 30~40 有 24 不銹鋼 有 有 無 有 6 制絨 浸泡 堿 80~90 30~40 有 24 不銹鋼 有 有 無 有 7 清洗 浸泡 堿 40~90 6~10 有 24 不銹鋼 有 有 無 有 8 漂洗 漂洗 DI水 常溫 6~10 無 無 無 無 有 無 9 漂洗 漂洗 DI水 常溫 6~10 無 無 無 無 有 無