● 激光功率實時監控
● 來料CCD自動檢測及剔除
● 穩定提效
● 電流電壓實時監控
● 機臺360全時監控
● 運行穩定,便于維修
| 設備型號 | G9008 |
| 激光器 | >100W ， 穩定性<2% RMS ， 使用壽命>20000小時 |
| 適用硅片尺寸 | 182*182mm-230*230mm |
| 單晶碎片率 | ≤0.015%@18x士0.5*18x士0.5；≤0.02%@210士0.5*210士0.5 |
| 激光器掃描定位精度 | ±15um |
| 效率增益 | ≥0.35%(不低于同行水平) |
| 劃線光斑尺寸 | 面掃光斑大小：1-1.2mm |
| 產能 | 匹配絲印工序產能 ，基于硅片尺寸 : 18x士0.5mm* (18x士0.5mm-210mm) ，單臺 機產能>9600片/小時 ， CT<0.75S； 基于硅片尺寸 : 210士0.5mm*21x士0.5mm ， 單臺小時 ， CT<0.8S |
