● 最小光斑尺寸1um以下
● 鏡頭倍數2X-50X自動切換
● 自動AOI識別缺陷
● 手動、半自動、自動三種工作模式
● 支持圖形繪制修復模式
● 支持組網支持MES系統
| 項目 | 技術參數 |
| 設備型號 | G6001 |
| 激光器 | 50uj@1030nm，300fs，5W，0-1000KHz |
| 平臺精度 | 重復精度±0.5um，定位精度±1um@20℃±1℃ |
| 平臺運行速度 | 運行速度100mm/s，速度1000mm/s |
| 平臺運行加速度 | 運行加速度1.8G，加速度2.5G |
| 修復范圍 | 300*300mm |
| 電動狹縫 | 0-2.5mm，步距0.1um，±45度可調±1度 |
| WDI | 相應時間50us |
| 相機 | 2000W像素，≤1微米 |
| 自動對焦 | 3s |
| 鏡頭切換 | 0.5S |
| AOI時間 | 5s/3亮點平方英寸 |
| 修復像素形狀 | 條形、矩形、方形、菱形、圓形、多邊形 |
| 修復產品 | Micro LED，Micro OLED HD，FHD，QHD，UHD 亮點修復 |
