主要特點：▏In-Feed 主軸 進給式 磨削加工，加工精度高▏采用精密進口滾珠絲桿、直線導軌，高精度電機，進行 Z 向精密控制；最小分辨率在 0.1um/s▏成熟穩定的加工過程▏采用高剛性氣浮主軸，高可靠性與運動精度的承片組件，加之高精度測厚儀；保證加工全程的穩定、可靠▏便捷的操作與人機交互界面▏采用直觀便捷的整機操作界面，可選擇不同尺寸不同規格的加工配置文件▏簡單緊湊的單軸減薄機▏單主軸，單工作臺，結構緊湊的減薄機，可對應 12 英寸的加工物▏可廣泛適用于硅晶圓意外的材料▏可有效于硬質和脆性材料以及電子元件產品的研削加工功能：? 操作日志記錄；?真空預警與真空管路去水；?實時高精度接觸式晶圓測厚功能；?12 英寸晶圓等材料磨削；?抽霧過濾系統；?主軸水冷系統；?主軸磨削力實時監測功能；?功能模塊化軟件定制。