立式甩干機SA-SV422

1、伺服電機驅動及主軸連接技術

1.1離心旋轉沖洗甩干是設備的核心功能，旋轉電機就成為設備的核心部件之一。本機采用伺服電機驅動方式，實現無極調速加減速可調。

1.2主軸采用雙作用軸承提高軸向及徑向負載能力，間隙更小。軸端與轉盤間采用氣密封保護，隔絕外界油污及大氣污染腔體。保證圓片潔凈度。

2、工作腔

工作腔體采用耐腐蝕的不銹鋼焊接而成，腔體、籃架、支架等采用電解拋光鈍化技術，易擦洗不生銹。

3、旋轉載體及片架結構

3.1旋轉載體由不銹鋼轉盤和可方便更換的不銹鋼片架組成，如需更換片架，只需將片架卸下，即可更換為另一種片架。

3.2片架采用可反轉式結構，放置花籃時將花籃翻轉到一定角度可方便的將花籃放進片架內。

3.3該旋轉載體及片架結構不僅更換方便，而且結構簡潔，沖洗和甩干時，晶片及片盒不會留下死角。

4、層流風干法

晶片在旋轉過程中，產生同一方向的氣流，氣流由設備門蓋上方進入至上而下的氣流方向，經由排風排水管道出。排風口在上方，排水口在下方。 氣流經由除靜電裝置及高效過濾器處理微塵，滿足顆粒度要求。

5、免沖水設計

設備無需增加額外沖水功能，避免二次污染，加快干燥工藝時間。

6、軸系動平衡及減震系統

硅片的生產中，降低生產過程中的碎片率是降低成本、提的重要手段。而晶片干燥過程中震動過大、減震不良是造成碎片的主要原因。我們采用的現場動平衡儀，對設備的整個軸系進行動平衡。

7、系統控制技術

7.1控制系統采用可編程邏輯控制器，彩色液晶觸摸屏漢顯監控。可存儲多種用戶工藝菜單。同時具有密碼保護功能，用戶只有在輸入正確的密碼后才可對工藝菜單進行編輯和修改，否則只能調用已經保存工藝菜單。另外，根據用戶的反饋，增加了管理員密碼功能，以加強對工藝菜單的保護。

7.2設備運行過程中的工藝時間、轉子速度、轉速和工作狀態以及故障信息等均在觸摸屏上顯示，使用戶對設備狀況做到一目了然。

立式甩干機SA-SV422

該系列臥式甩干機具有較高潔凈度的沖洗甩干功能，主要應用于太陽能電池片、半導體晶圓片、藍寶石片等材料的干燥工藝。