應(yīng)用范圍:
Nernst 微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀是專門針對微電子行業(yè)設(shè)計制造的第7代微氧分析儀。廣泛應(yīng)用于快速退火爐,Rapid Thermal Processing,真空焊接爐,電子行業(yè)芯片制造,回流焊,手套箱,3D打印,生物醫(yī)藥業(yè),精密零部件光亮退火爐,高強合金刀具涂層處理設(shè)備等,以及各種小型設(shè)備上需控氧的工藝。由于采用長壽命,高精度氧化鋯片結(jié)構(gòu)原理,可有效測量微氧,所測微氧量可達(dá)10-30%~氧含量,特別適合對產(chǎn)品工藝氧含量要求控制要求嚴(yán)格設(shè)備和工藝。分析儀實時提供爐內(nèi)或煙道內(nèi)煙氣的含量O2%(百分比)以及12種其他有用的參數(shù)。微氧氣分析儀也適用于其他各種需要測量高精度氧氣含量的領(lǐng)域。
微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀 技術(shù)特點:
◆ 氧探頭傳感器:內(nèi)置式高精度片狀氧化鋯傳感器,反應(yīng)速度快,響應(yīng)時間<100毫秒。
◆ 多路輸出控制:儀器有兩路4~20mA電流輸出及計算機通訊接口RS232或網(wǎng)絡(luò)通訊接口RS485。
◆ 測 量 范 圍: 測氧范圍10的負(fù)30次方至氧量。
◆ 氧量顯示單位:百分含量%,PPM方式,科學(xué)計數(shù)法E-X%自動轉(zhuǎn)換。
◆ 報 警 設(shè) 置: 儀器有1路通用報警輸出以及3路可編程序報警輸出。
◆ 自 動 校 正: 儀器會自動監(jiān)測各功能系統(tǒng)并自動校正以保證儀器測量時的精度。
◆ 智 能 系 統(tǒng): 儀器可人機對話并按預(yù)定的設(shè)置完成各項設(shè)置的功能。
◆ 顯示輸出功能:儀器有很強的顯示各種參數(shù)的功能并具有很強的各種參數(shù)的輸出和控制功能。
◆ 安 全 功 能: 當(dāng)爐子停止使用時,用戶可控制關(guān)閉探頭的加熱器以確保使用時的安全。
◆ 無 需 安 裝: 儀器為一體化便捷式分析儀。
規(guī)格和參數(shù):