氣體質(zhì)量流量控制器WGLD-380（數(shù)字）是熱式質(zhì)量流量計(jì)。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。本產(chǎn)品主要應(yīng)用的行業(yè)有材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、光伏半導(dǎo)體及化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)（優(yōu)勢）：
本具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn)，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 氣體質(zhì)量流量控制器WGLD-380（數(shù)字） | |
基本型號 | WGLD-380 | WGLD-380M |
流量規(guī)格①(N2標(biāo)定) | 0～10,50,100,500 SCCM 0～15,20,25,30 SLM | |
調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2~100)%F.S.［（1~99.9%F.S.）可選］ | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
準(zhǔn)確度 | ±1％F.S. (≤15SLM) ±2％F.S. (＞15SLM) | |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.05～0.3MPa （<2slm）<> 0.1～0.3MPa （2SLM-10SLM）0.15～0.3MPa （>10SLM） | ＜2MPa |
至大耐壓 | 2MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5~45°℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 0～+5.00V（輸入阻抗大于100kΩ，輸 出電流不大于3mA) RS485 MODBUS | 0～+5.00V（無輸入信號，輸出電流不 大于3mA) RS485 MODBUS |
供電電源要求 | 15VDC - 24VDC(300mA) | 15VDC - 24VDC(300mA) |
對外單點(diǎn)泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM | |
管道接頭尺寸 | VCR 型接頭：1/4” 雙卡套型接頭：1/4”、1/8”或φ6、φ3mm 內(nèi)螺紋：9/16-18UNF內(nèi)螺紋（深度＜8mm） | |
凈重量 | 1.0kg | 0.8kg |
注1；滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格,可以在20SLM~30SLM范圍內(nèi)任選,例如23SLM。 | ||
產(chǎn)品尺寸：
接線定義：
