概述
適用于工業(yè)高真空技術(shù)的正排量風(fēng)機。
帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機經(jīng)過專門設(shè)計，可輸送中性（HM 設(shè)計）和腐蝕性（CM 設(shè)計）氣體，用于工業(yè)高真空技術(shù)。 此系列的特點是高能效。
適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：
AERZEN CM 系列共可選 14 種結(jié)構(gòu)尺寸，適用的理論進氣流量范圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適用的壓力范圍在 10^-5 mbar 壓力以內(nèi)。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽：
通過 ATEX 0 區(qū)認(rèn)證（內(nèi)部）
4 種不同電機變體，實現(xiàn)較佳選擇
機械負載較高（高達 150 mbar），因此縮短了泵送時間
僅消耗少量水、氮和油
適用于凈室環(huán)境應(yīng)用
借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍（從 1.450 到 7.400 rpm，或從 1.240 到 2.900 rpm）
可選擇縱向或水平輸送方向
適用于中性氣體的 HM 系列版本：
AERZEN HM 系列可選 9 種結(jié)構(gòu)尺寸，在 10^-5 mbar 的真空壓力條件下，適用的理論進氣流量范圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽：
4 種不同電機變體，實現(xiàn)較佳選擇
機械強度較高（HM 系列高達 230 mbar），因而大幅縮短泵送時間
耗水量、耗氮量低
適用于凈室環(huán)境應(yīng)用
借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍，各項參數(shù)針對 AERZEN 密閉式電機鼓風(fēng)機進行過調(diào)整，卓有成效
可選擇縱向或水平流動方向
技術(shù)參數(shù)
結(jié)構(gòu)形式：正排量風(fēng)機
體積流量：406 止于 15.570 m3/h
介質(zhì)：空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體
輸送：無油
FINAL VACUUM：表壓（單位：10^-5mbar）
性能
眾多制造工藝經(jīng)過較高的壓力差優(yōu)化，原因正是如此。
AERZEN 密閉式電機鼓風(fēng)機大幅縮短泵送時間，從而提高了產(chǎn)量。 這是工藝優(yōu)化的一大進步。
設(shè)計與結(jié)構(gòu)
AERZEN 真空泵的殼體法蘭之處配有 O 形圈密封件。 風(fēng)機頭還有真空密閉性和空氣冷卻等其他重要優(yōu)勢。 由濺油潤滑裝置提供潤滑油。 礦物油和 PFPE 油都可以作為潤滑劑，PFPE 油通常用于半導(dǎo)體技術(shù)。 密閉式電機鼓風(fēng)機在輸送室和軸承室配有專用的矩形圓環(huán)—迷宮—密封件。 另外還安裝了一個配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者，中和室可以用密封氣體沖洗，以實現(xiàn)更強的密封效果。 一體化密閉式電機可保障對驅(qū)動軸的密封。 因此無需連接大氣的軸通道，從而可以從技術(shù)上實現(xiàn)明顯更高的轉(zhuǎn)速。
應(yīng)用
中性氣體還是腐蝕性氣體？ AERZEN 針對二者都提供了適用的解決方案，并且結(jié)構(gòu)尺寸也非常合理！
帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機經(jīng)過專門設(shè)計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機鼓風(fēng)機始終結(jié)合前級泵使用*。
此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風(fēng)機，然后泵送流程啟動。 根據(jù)應(yīng)用的不同，可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數(shù)集時，前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)
微電子工業(yè)
平面屏幕制造
激光技術(shù)
太陽能技術(shù)
氦檢漏裝置
化學(xué)工藝技術(shù)
箔紙和玻璃噴漆
熔爐制造
氫的提取
*使用帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機時，必須配備額外的前級泵（多級系統(tǒng)）。
