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iPH半導體嚴苛系列

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晟弘節能科技(上海)有限公司,是致力于空壓機及配件銷售、安裝、維護保養、節能改造服務的現代化公司,其中,晟弘節能科技(上海)有限公司代理品牌"hanbell” 漢鐘精機空 氣壓縮機,漢鐘專門從事螺桿式壓縮機相應技術的研制開發、生產,公司經過多年的發展,在螺桿式壓縮機領域擁有雄厚的技術實力。于2007年8月17日漢鐘精機(代碼002158)中國深圳正式掛牌上市,已成為橫跨五大洲的空壓機廠家,產品不僅行銷國內市場,還遠銷東南亞、澳洲、美洲等世界各地50多個國家,以自有"HANBELL" 行銷。漢鐘精機公司擁有將電動機優化設計、智能化控制技 術和變頻節能技術等綜合運用到螺桿式壓縮機領域的技術能力,研制出具有節能降耗特點的變頻式螺桿壓縮機。通過高精密設備、自動化倉儲、AGV、 完整測試實驗室與有效的物流管理、環境安全管理系統的有效運行,保證了漢鐘“品質掛帥物超所值”的方針承諾,為工業生產助力!晟弘以”立之以誠,取之以信,全心服務,永續發展。“為理念, 蝎誠提供空壓機系列產品與服務滿足各行各業需求,為工業氣體用戶提供解決方案。
皮帶式螺桿空氣壓縮機
iPH半導體嚴苛系列
iPH半導體嚴苛系列 產品信息
產品型號及名稱
真空泵Vacuum pump
用途
 
Etch/Implant/HDP-CVD/SACVD/MOCVD/PECVD/LPCVD/ALD
 
特點
iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能,適用于嚴苛制程。
它優良的性能源自于最短的轉子排氣路勁和的轉子型線設計。
漢鐘型線設計,上海、中國臺灣制造;
較之前的版本節能25%,配置有省電模式;
帶有加熱系統避免制程物沉積;
優化的尺寸,即插即用。
 
技術指標

Product
Unit
iPH100
iPH200
iPH610
iPH1210
iPH1210H
iPH1220
iPH1820
Dry Pump
m3/h
120
200
120
120
120
200
200
Booster
m3/h
/
/
600
1200
1200
1200
1800
Max.Pumping Speed
m3/h
120
200
700
1100
1100
1250
1850
Ultimate Pressure
Torr
7.5×10-3
7.5×10-3
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
System Power at Ult.
kW
2.1
3.5
2.6
3.0
3.2
4.5
4.7
Inlet
ISO
63
63
100
100
100
100
160
Outlet
NW
40
40
40
40
40
40
40
Dimension(mm)
 L
830
830
830
830
830
830
830
W
400
400
400
400
400
400
400
H
526
526
780
780
780
780
830
Weight
Kg
280
300
450
455
460
470
530
關鍵詞:真空泵 PC
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