離子束拋光離子束拋光機(jī)IFS1300C技術(shù)參數(shù)離子束拋光
名稱 | 參數(shù) |
加工能力 | 1300mm×1300mm |
X軸行程 | ≥1300mm |
Y軸行程 | ≥1300mm |
Z軸行程 | ≥300mm |
A軸行程 | A≥60° |
離子源 | 德國射頻離子源 |
中和器 | 德國 |
束電壓 | 2000V |
束電流 | 1000mA |
束流密度測量 | 法拉第杯/探針 |
陰極Tip壽命 | 150-1000 hours |
去除函數(shù) | 高斯型、穩(wěn)定性≥95% |
工作真空 | 5×10-3pa |
工作真空建立時間 | ≤1.5 hours |
副室真空建立時間 | ≤30 min |
X軸運動速度 | 8m/min |
Y軸運動速度 | 8m/min |
Z軸運動速度 | 5m/min |
運動軸重復(fù)定位精度 | ≤±0.01mm |
保護(hù)功能 | 具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護(hù)、運動系統(tǒng)故障保護(hù)、離子源故障保護(hù)等 |
智能功能 | 具備智能一鍵開機(jī)、一鍵停機(jī)、定時預(yù)約加工、遠(yuǎn)程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 | 長寬高:6×5×3m |
整機(jī)重量 | 15噸 |
能耗功率 | Max:26KW Avg:8KW |
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