設備用途:
該機主要適用于超高精密零部件的雙面研磨拋光,光學晶體材料、硅片、砷化鎵片、刀片、金屬件、石英及其他硬脆材料等高平面度、高平行度要求的雙面高精度研磨拋光。
設備原理:
1、本系列研磨機為超高精密研磨設備,上、下研磨盤作相反方向轉動,工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件,而且兩面均勻磨削生產效率高。
2、本系列研磨機修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動,金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行平面修整。
設備特點:
1、本系列研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。
2、采用四個電機同步驅動,變速范圍更廣,動動精度更高,響應速度更快,能適應不同研磨材料用研磨工藝的要求,實現了軟啟動、軟停止,調速穩定,沖擊小。
3、控制系統中采用CNC、彩色終端等技術,系統的響應速度更快、更精確,并具有遠程監控,遠程維護功能。
4、本系列研磨機有光柵厚度控制系統,加工后的產品厚度公差可控制在±0.002mm,平行度0.002mm、平面度0.001mm范圍內。
設備規格:
型號 | YM-D380X | YM-D610X | YM-D910X |
研磨盤(外徑*內徑) | ∮380*∮140*12t | ∮610*∮200*12t | ∮635*∮240*12t |
工件加尺寸 | ∮130mm | ∮200mm | ∮280mm |
工件加工平面度(25mm) | ±0.1u以內 | ±0.1u以內 | ±0.2u以內 |
工件加工平行度(25mm) | ±0.2u以內 | ±0.2u以內 | ±0.4u以內 |
工件粗糙度(石英材料) | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 |
研磨盤修面后平行度 | ±0.1u以內 | ±0.2u以內 | ±0.2u以內 |
游輪規格 | M2Z73 | M2Z115 | M2Z195 |
游輪數量 | 5 | 5 | 5 |
下研磨盤轉速 | 0-100rpm | 0-90rpm | 0-70rpm |
下研磨盤電機功率 | 0.75Kw3相380V | 2.2Kw3相380V | 3.7Kw3相380V |
上研磨盤研磨轉速 | 0-60rpm | 0-60rpm | 0-60rpm |
上研磨盤電機功率 | 0.4Kw3相380V | 1.5Kw3相380V | 1.5Kw3相380V |
上研磨盤修面轉速 | 0-100rpm | 0-90rpm | 0-70rpm |
上研磨盤修面電機功率 | 0.4Kw3相380V | 0.47Kw3相380V | 0.75Kw3相380V |
外齒輪轉速 | 0-30rpm | 0-30rpm | 0-30rpm |
外齒輪電機功率 | 0.4Kw3相380V | 0.75Kw3相380V | 0.75Kw3相380V |
修面機速度 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 | 200mm/分鐘 |
修面機電機 | 100w | 200w | 200w |
外形尺寸 | 800*1200*2300mm | 1000*1400*2400mm | 1200*1650*2400mm |
重量 | 1130kg | 2100kg | 2330kg |