儀器型號(hào) | EFA-3020 | 自動(dòng)測(cè)量 | |
測(cè)量范圍 | X | 300mm | |
Y | 200mm | ||
Z | 150mm | 含激光點(diǎn)尋位上燈,自動(dòng)對(duì)焦
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玻璃臺(tái)面 | 350mm*250mm | ||
承重 | 50kg | ||
CCD | 美國(guó)康斯特350萬(wàn)像素 800TV線工業(yè)高清晰彩色CCD | ||
變焦物鏡 | 美國(guó)MVTA 連續(xù)變倍變焦鏡頭0.7-4.5X(選配同軸光),無(wú)需校正 | ||
視頻放大分倍率 | 影像倍數(shù)30X-200X | ||
工作距離 | 95mm | ||
顯示分辨率 | 0.0001mm | ||
日本運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng):全閉環(huán)控制:三軸伺服馬達(dá)全閉環(huán)控制 | |||
光柵尺 | 高精密封閉光柵尺 分辨率: 0.005mm | ||
重復(fù)性 | 2μm-3um | ||
測(cè)量精度 | XY≦(2.5+L/300)um,L表示測(cè)量的長(zhǎng)度,相除的數(shù)字越大儀器精度越高。 | ||
外形尺寸(mm) | 1500*1200*1600 | ||
儀器重量(kg) | 1200 kg | ||
照明 | 可程控LED表面光及直軸輪廓冷光源(選配同軸冷光源),亮度可調(diào) | ||
電源 | 110V-220V±10% 50/60Hz 電流大于10A | ||
量測(cè)系統(tǒng) | 2D-CNC |