俄歇電子能譜儀(在線表面分析)
簡介:
microCMA是一種緊湊型(2.75“CF安裝)柱面鏡式俄歇(AES,俄歇電子能譜)分析儀。
microCMA是30年來投入市場的*創(chuàng)新性的俄歇分析儀。
優(yōu)異性能:
2.75英寸法蘭安裝CMA,內(nèi)置3kV同軸電子槍。這兩項(xiàng)功能的結(jié)合使microCMA在競爭中脫穎而出。
microCMA安裝在2.75英寸法蘭上,這意味著它可以添加到大多數(shù)腔室,而無需向腔室添加另一個(gè)端口(大多數(shù)腔室有額外的2.75英寸端口可用)。
小型化還意味著,只需一個(gè)T形管和一個(gè)小型離子泵,而不是傳統(tǒng)的大型腔室,就可以制造出一個(gè)完整的系統(tǒng)。
同軸電子槍使樣品(彈性峰)易于對準(zhǔn),也無需電子槍(電子源、電源和法蘭)。
技術(shù)參數(shù):
緊湊型2.75“CF法蘭安裝
同軸3kV電子槍
CeBix燈絲(運(yùn)行溫度低于Lab6)
USB控制
ASCII命令
經(jīng)驗(yàn)證的CMA設(shè)計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域:
表面分析
螺旋鉆/AES
薄膜分析
冶金學(xué)
半導(dǎo)體
原位
分子束外延
超高真空