俄歇電子能譜儀(在線表面分析)
簡介:
microCMA是一種緊湊型(2.75“CF安裝)柱面鏡式俄歇(AES,俄歇電子能譜)分析儀。
microCMA是30年來投入市場的*創新性的俄歇分析儀。
優異性能:
2.75英寸法蘭安裝CMA,內置3kV同軸電子槍。這兩項功能的結合使microCMA在競爭中脫穎而出。
microCMA安裝在2.75英寸法蘭上,這意味著它可以添加到大多數腔室,而無需向腔室添加另一個端口(大多數腔室有額外的2.75英寸端口可用)。
小型化還意味著,只需一個T形管和一個小型離子泵,而不是傳統的大型腔室,就可以制造出一個完整的系統。
同軸電子槍使樣品(彈性峰)易于對準,也無需電子槍(電子源、電源和法蘭)。
技術參數:
緊湊型2.75“CF法蘭安裝
同軸3kV電子槍
CeBix燈絲(運行溫度低于Lab6)
USB控制
ASCII命令
經驗證的CMA設計
應用領域:
表面分析
螺旋鉆/AES
薄膜分析
冶金學
半導體
原位
分子束外延
超高真空