AT-XTJ-2 旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)產(chǎn)品簡介
旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)簡稱旋涂機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
AT-XTJ-2 旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)主要技術(shù)參數(shù)
轉(zhuǎn)速：100-10000轉(zhuǎn)/分
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<±1%
旋涂均勻性：<±3%
基片尺寸： Φ5-Φ100mm 100mm 100mm圓片，100 ×100mm 100mm100mm100mm2方片
適應(yīng)材料：硅片、 玻璃石英金屬適應(yīng)材料：硅片、 玻璃石英金屬適應(yīng)材料：硅片、 玻璃石英金屬GaAs GaAs、GaN 、InPInPInP等各種材料
旋涂時(shí)間：單步工藝 0-3000s，可根據(jù)用戶需求增加調(diào)節(jié)時(shí)間 ，可根據(jù)用戶需求增加調(diào)節(jié)時(shí)間 ，可根據(jù)用戶需求增加調(diào)節(jié)時(shí)間 分辨率0.1S
可編程：1-5段 每段均可單獨(dú)編程，速度可調(diào)，時(shí)間可設(shè)
；適用厚度0.3mm~2mm（無額外費(fèi)用）；
3、標(biāo)準(zhǔn)配置：（以下均按實(shí)際需求填寫）
需配置50mm，80mm&100mm三個(gè)片托
真空泵參數(shù)要求：流量≥15L/min 真空管直徑6mm 無油真空泵
4、服務(wù)要求：（以下均按實(shí)際需求填寫）
1、供貨期：收到預(yù)付款后30個(gè)工作日內(nèi)發(fā)貨；
3、送貨方式：免費(fèi)送貨上門；
4、安裝調(diào)試：供方負(fù)責(zé)免費(fèi)安裝調(diào)試、并培訓(xùn)1-3名操作員學(xué)會(huì)獨(dú)立操作為止；
5、售后服務(wù)：保修期內(nèi)出現(xiàn)質(zhì)量問題能24h內(nèi)快速相應(yīng)，終生維護(hù)，并承諾15年內(nèi)皆有零件更換。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.多種參數(shù)規(guī)格可供選擇包含單頭、多頭，單速、多速等系列產(chǎn)品，滿足客戶不同需求。
2.其勻膠速度、時(shí)間分多個(gè)時(shí)段，并分別無級(jí)可調(diào)。
3.電器線路可靠，電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率。
