超緊湊的外形尺寸
快速的穩(wěn)定時(shí)間< 150 ms
的重復(fù)性和精度
堅(jiān)固的設(shè)計(jì)
高量程比< 1000:1
的長期穩(wěn)定性
參數(shù) | 單位 | 典型值 |
流量范圍 | sccm | 0-15,000 |
外形尺寸 | mm | 50×52×22(質(zhì)量流量控制器OEM模塊) |
流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取較大值 | |
Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取較大值 | |
Resolution | % F.S. | 0.1 |
Remarks | 如您需要更為詳細(xì)的資料,敬請查閱產(chǎn)品相關(guān)的技術(shù)規(guī)格書 |
Axetris質(zhì)量流量技術(shù)被用于眾多行業(yè),廣泛應(yīng)用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質(zhì)譜、鍍膜技術(shù)、等離子技術(shù)以及其他眾多的領(lǐng)域。
■ 分析儀器
氣相色譜分析 | 質(zhì)譜分析 | 原子光譜分析 |
元素分析 | 熱值分析 | 生物反應(yīng)器和發(fā)酵設(shè)備 |
■ 工業(yè)領(lǐng)域
泄漏測試 | 薄膜鍍層控制 | CO2激光切割 |
■ 醫(yī)療領(lǐng)域
氧氣混合設(shè)備 | 通風(fēng)裝置及呼吸設(shè)備控制 |