U1510掃描電子顯微鏡
一、用途
SU1510掃描電子顯微鏡主機寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。 特點 1. 儀器主體比過去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場地。 2. 標配低真空功能,可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。 3. 可載入*大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進行元素分析。 4. 強大的鼠標控制功能,可實現電鏡的所有操作。 5. 分子泵真空系統,潔凈無污染。 |
二、技術規格
項目 | 內容 |
二次電子分辨率 | 3.0nm(高真空,30kV) |
背散射電子分辨率 | 4.0nm(低真空:6Pa,30kV) |
倍率 | 5~300,000X |
加速電圧 | 0.3~30 kV |
樣品臺 | X 0~80 mm |
Y 0~40 mm; | |
Z 5~50 mm; | |
T -20°~ 90°; | |
R 360° | |
樣品臺控制 | 手動(可選:2軸馬達) |
*大載入樣品尺寸 | 直徑:153 mm |
*大觀察范圍 | 直徑:126 mm(XYR并用) |
*大樣品高度 | 60 mm(WD=15 mm) |
低真空范圍 | 6-270Pa(從菜單設定) |
燈絲 | 預對中鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓 |
檢測器 | 二次電子檢測器,高靈敏度半導體背散射電子檢測器 |
EDX分析位置 | WD=15,TOA=35° |
真空系統 | 分子泵1臺,機械泵1臺 |
安全措施 | 停電,漏電,自動保護 |