●電源：220V 50/60HZ
●額定功率：2.5KW
●工作溫度：1200℃（＜0.5 hour）
●連續(xù)工作溫度：1100 ℃以下
● 推薦升溫速率：≤20℃/min
●加熱區(qū)長度：440mm；恒溫區(qū)：220mm（誤差±1℃）
● 石英攪拌管：爐管尺寸：兩端管徑φ60*420mm，中間管徑φ100*340mm，總長1200mm
●管內(nèi)壓力≤0.016Mpa；進(jìn)氣口有旋轉(zhuǎn)接頭，可通入氣體；
爐體結(jié)構(gòu)：
●采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；
●爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失；
●爐膛安裝好后，內(nèi)部也會(huì)重新涂有高純氧化鋁涂層提高反射率及設(shè)備的加熱效率同時(shí)也延長了儀器的使用壽命；
●爐體加旋轉(zhuǎn)裝置，可實(shí)現(xiàn)傾斜旋轉(zhuǎn)工作；傾斜角度0-40度可調(diào)，建議傾斜角度小于30.
0-10rpm轉(zhuǎn)速可調(diào)，選配：正反轉(zhuǎn)可調(diào)
● 標(biāo)配：一對不銹鋼密真空法蘭（配旋轉(zhuǎn)接頭）和高溫硅膠密封圈；
●可選配：不銹鋼密封真空法蘭（進(jìn)氣配機(jī)械壓力表，壓力表量程-0.1Mpa-0.15Mpa，雙卡套接頭，截止閥）；出氣端配密封磁流體法蘭（截止閥，寶塔嘴接頭，KF25端口）
●為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接；
精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量，可通入氮?dú)狻鍤獾缺Ｗo(hù)氣體；
● 供氣系統(tǒng)，2路質(zhì)子流量計(jì)（氮?dú)狻鍤猓?/span>
● 7寸觸屏昆侖通態(tài)；精密工控板控制；
●工作溫度5—45℃
●壓力：3*10-6Pa
●精度：±1.5%FS；重復(fù)精度：±0.2%FS
● 可選配：流量范圍：1-500sccm，1-100SCCM,1-200SCCM; 氣路接口為φ6.35mm卡套接口；需配G1/4的四氟軟管或不銹鋼通管。
氣路管道采用四氟軟管，和不銹鋼氣管，帶有混氣罐，通入氣體單進(jìn)單出，也可混氣后進(jìn)入爐管，
1200℃智能控溫高溫管式爐真空爐CVD系統(tǒng) 1200℃可傾斜式旋轉(zhuǎn)管式爐，采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型；搭配兩路混氣質(zhì)子流量控制系統(tǒng)。1200℃智能控溫高溫管式爐真空爐CVD系統(tǒng) 是專為高校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室及工礦企業(yè)在可控多種氣氛及真空狀態(tài)下對金屬、非金屬及其它化合物進(jìn)行燒結(jié)、熔化、分析而研制的設(shè)備。
