半導(dǎo)體流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內(nèi)的流量傳感器芯片,結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補償算法,所開發(fā)的一款更緊湊的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,超高的集成度使該產(chǎn)品能夠縮小一半體積,可以更好的適用于空間要求嚴格的安裝場所。
產(chǎn)品應(yīng)用于:半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
半導(dǎo)體流量控制器產(chǎn)品特點:
溫度和壓力不敏感
設(shè)計勁湊,可安裝任意位置
*的零點穩(wěn)定性
超快的響應(yīng)速度
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
采用液晶觸控顯示和控制
配備比例電磁閥