熱式流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內優(yōu)良的流量傳感器芯片技術，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。
半導體加工
分析和環(huán)保
燃燒控制器
真空技術
表面處理
食品和制藥
化工（石化）等過程控制
熱式流量控制器產(chǎn)品特點 Feature
溫度和壓力不敏感
*的零點穩(wěn)定性
超快的響應速度
良好的重復性和再現(xiàn)性
多種信號輸出方式
配備進口比例電磁閥
熱式流量控制器?產(chǎn)品規(guī)格
參數(shù)說明 | |
介質要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類 | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 |
量 程 | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM |
精 度 | 讀數(shù)誤差的 1%或滿量程誤差的 0.8%，二者取值 |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
響應時間 | ≤0.7S |
環(huán)境條件 | |
介質溫度 | 0~50℃ |
工作溫度 | -20~70℃ |
工作濕度 | 10%~90%RH（無結冰，無凝露） |
工作壓力 | 0~1MPa |
儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數(shù) | |
供電電壓 | DC24V，紋波 ≤50mV |
功 耗 | 2.4W |
啟動時間 | <1s<> |
預熱時間 | <10ms<> |
通信接口 模擬信號（電流、電壓） | |
接口類型 | D-SUB 9針 |
電流信號 | 4-20mA (線性對應量程) |
電壓信號 | 1-5V (線性對應量程) |
數(shù)字信號（RS485） | |
接口類型 | RJ45、D-SUB 9針 |
通信速率 | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通過指令或者上位機修改） |
協(xié) 議 | RS485（默認Modbus-RTU，可定制私有協(xié)議） |
設備地址 | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
大節(jié)點數(shù) | 250 |
機械參數(shù) | |
接頭類型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可選 |
主體材質 | 底座：316L不銹鋼，外殼：碳鋼 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.75kg |
尺寸圖 Dimension
安全使用
產(chǎn)品用于有害氣體或爆炸性氣體時，須嚴格按照產(chǎn)品使用說明或咨詢公司技術人員。有關產(chǎn)品應用的新信息，請與廠家聯(lián)系索取或訪問公司網(wǎng)站。強腐蝕性或氟化物氣體可能影響產(chǎn)品正常工作，甚至對產(chǎn)品造成毀損。產(chǎn)品經(jīng)過密封處理并在裝箱前進行過防漏試驗，在高壓下使用必須按照產(chǎn)品使用說明的限制，否則會導致泄漏及安全問題。
注意：未經(jīng)公司許可，任意改動或不當使用本產(chǎn)品可導致不可預見的損壞、人員傷害及其它有害后果，公司將不負任何責任。
產(chǎn)品保修
產(chǎn)品必須在說明書規(guī)定的正常工作條件下，嚴格按照正確的方法安裝、使用并維護保養(yǎng)。產(chǎn)品質量保證期，從發(fā)貨之日起提供365天免費保修。維修或更換的產(chǎn)品，保修期為 90 天或延續(xù)原保修期（以更長者為準）。
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注意，下列情況不適用保修條款：
1）產(chǎn)品被改變、改裝、處于說明書規(guī)定的(或之外的)不正常環(huán)境及其它任何可被視為非正常使用的情況；
2）非本公司原裝產(chǎn)品。
對于產(chǎn)品拆封后的包裝箱體、填充材料、防靜電袋等廢棄物，請按照紙張、塑料和其他垃圾進行分類處理。對于達到使用壽命的產(chǎn)品，請參照國家對電子電器產(chǎn)品的相關報廢規(guī)定進行處理。
