Rtec劃痕儀可進行劃痕粘著、劃痕和慢速往復磨損試 驗。x、y、z軸都有閉環(huán)控制的編碼器。向下的力實時控制。該儀器可用于測試從納米到幾微米的涂層。
在線形貌:
樣品自動移動到成像模塊(光學輪廓儀或原子力顯微鏡),可以創(chuàng)建一個完整的劃痕的三維圖像。光學輪廓儀為白光干涉和激光共聚焦顯微鏡相結合。這種組合可以測量鋼刮坡,透明涂料(玻璃等),可測量表面粗糙度,劃痕體積、涂層失效等。用于亞納米分辨率 。
Rtec劃痕儀參數(shù):
平臺
落地式,臺式
XY 平臺
位移分辨率:0.01um
加載分辨率:mN
劃痕頭(可更換)
納米劃痕
摩擦力:1N
位移分辨率:0.01 um
微劃痕
摩擦力:20N
位移分辨率:0.01 um
宏觀劃痕
摩擦力:200N
位移分辨率:0.01 um
在線形貌
白光干涉
白光干涉 共聚焦
AFM
環(huán)境腔
150C,800C高溫
濕度腔
傳感器
聲發(fā)射傳感器
接觸電阻傳感器